b) Entegre devre topoğrafyası: Entegre devreyi oluşturan tabakaların üç boyutlu dizilimini gösteren, üretim amacıyla
hazırlanmış ve herhangi bir formatta sabitlenmiş görüntüler dizisi olup, her görüntü entegre devrenin üretiminin herhangi bir
aşamasındaki yüzeyinin tamamının veya bir kısmının görünümünü,